주제어 : Ion current
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2008 | Etching Characteristics of Al2O3 Thin Films in Inductively Coupled BCl3/Ar Plasma 윤선진 Vacuum, v.82 no.11, pp.1198-1202 | 14 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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