주제어 : Re-oxidation
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2017 | A Study on N2O Direct Oxidation Process with Re-oxidation Annealing for the Improvement of Interface Properties in 4H-SiC MOS Capacitor 조두형 Journal of the Korean Physical Society, v.71 no.3, pp.150-155 | 5 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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