주제어 : Surface material
구분 | 연도 | 논문 | 피인용 | 원문 |
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학술지 | 2007 | Characteristics of AlxTi1_xOy Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 임정욱 Journal of the Electrochemical Society, v.154 no.11, pp.G239-G243 | 24 | 원문 |
구분 | 출원 | 특허 | 출원국 | 패밀리 | KIPRIS |
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구분 | 연도 | 보고서 | 책임자 | 원문 |
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