패밀리특허 검색결과
구분	특허	출원국	KIPRIS
등록	발광 소자용 실리콘 질화막, 이를 이용한 발광 소자 및 발광 소자용 실리콘 질화막의 제조방법	대한민국
등록	실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자	미국
등록	실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자	일본