패밀리특허 검색결과
구분	특허	출원국	KIPRIS
등록	가스 모니터링 장치 및 그를 포함하는 플라즈마 공정 설비	대한민국
등록	가스 모니터링 장치 및 그를 포함하는 플라즈마 공정 설비	미국