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등록 축전식 미세전자기계적 스위치 및 그 제조 방법

축전식 미세전자기계적 스위치 및 그 제조 방법
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발명자
양우석, 정성혜, 김윤태, 강성원
출원번호
10329390 (2002.12.27)
공개번호
20030151879 (2003.08.14)
등록번호
6867467 (2005.03.15)
출원국
미국
협약과제
초록
The present invention relates to a capacitive micro-electro-mechanical switch and method of manufacturing the same. In the capacitive micro-electro-mechanical switch for use in the radio frequency (RF) and the microwave driven by the electrostatic force, a capacitor of a 3-dimensional structure is formed on a signal transmission line. An ON capacitance is increased without increasing an capacitor area while preventing an increase in an OFF capacitance using the capacitor. Thus, an ON/OFF capacitance ratio of the capacitive micro-electro-mechanical switch can be increased and insertion loss and isolation characteristic could be improved.
KSP 제안 키워드
3-Dimensional structure, 3-dimensional, Capacitance Ratio, Electro-mechanical, Electrostatic force, Radio Frequency(RF), Radio frequency (rf), Signal transmission, Transmission line, capacitor area, dimensional structure, insertion loss, mechanical switch
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 축전식 미세전자기계적 스위치 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS