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등록 평판 디스플레이 소자 및 평판 디스플레이 소자의 보호막형성 방법

평판 디스플레이 소자 및 평판 디스플레이 소자의 보호막형성 방법
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발명자
박상희, 윤선진, 이용의, 김용신
출원번호
10331915 (2002.12.30)
공개번호
20030143319 (2003.07.31)
등록번호
6926572 (2005.08.09)
출원국
미국
협약과제
초록
A method of forming a passivation film in a flat panel display device includes forming the flat panel display device on a substrate, bringing the flat panel display device into a chamber in order to form the passivation film, injecting precursors containing constituent elements of the passivation film into the chamber where the precursors include at least oxygen plasma, ammonia plasma, or nitrogen plasma, and forming the passivation film of an inorganic insulating material at a temperature of 20-220° C. through a surface chemical reaction between the precursors by a plasma enhanced atomic layer deposition method.
KSP 제안 키워드
Ammonia plasma, Atomic Layer Deposition, Atomic layer deposition method, Deposition method, Display device, Flat Panel, Insulating materials, Layer deposition, Nitrogen plasma, Passivation film, Plasma-enhanced, Plasma-enhanced atomic layer deposition, Surface chemical reactions, atomic layer, chemical reaction(Biomimetic), flat panel display(FPD), oxygen plasma
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 평판 디스플레이 소자 및 평판 디스플레이 소자의 보호막형성 방법 대한민국 KIPRIS
등록 보호막 형성 방법 대한민국 KIPRIS