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상세정보

등록 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지

발명자
최상국, 정진우, 김대용, 김대준
출원번호
102005045315.5 (2005.09.22)
등록번호
102005045315.5-41 (2011.01.20)
출원국
독일
협약과제
KSP 제안 키워드
piezoelectric element
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 압전소자를 채용한 마이크로 스테이지 미국