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등록 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치 및 그의 제조방법

자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치 및 그의 제조방법
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발명자
이재우, 강성원, 김윤태
출원번호
11636449 (2006.12.11)
공개번호
20070080765 (2007.04.12)
등록번호
7373717 (2008.05.20)
출원국
미국
협약과제
초록
Provided is a manufacturing method of self-sustaining center-anchor microelectromechanical switch driven by an electrostatic force used for controlling a signal transmission in an electronic system, which can suppress deformation of a movement plane generated during manufacturing and operation process by inserting the self-sustaining center-anchor, and improve a ground line contact phenomenon of an upper electrode, thereby enhancing reliability and signal isolation feature while maintaining an existing insertion loss feature compared to the microelectromechanical switch of the prior art.
KSP 제안 키워드
AND operation, Electrostatic force, Line contact, Manufacturing method, Microelectromechanical switch, Operation process, Self-sustaining, Signal isolation, Signal transmission, electronic system, insertion loss
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및 그의 제조 방법 대한민국 KIPRIS
등록 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치 및 그의 제조 방법 미국