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상세정보

등록 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법

MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법
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발명자
이상균, 이재우, 김혜진, 이성규, 박강호, 김종대
출원번호
12240138 (2008.09.29)
공개번호
20090146527 (2009.06.11)
등록번호
7812505 (2010.10.12)
출원국
미국
협약과제
초록
A piezoelectric microspeaker using microelectromechanical systems (MEMS) and a method of manufacturing the same are provided. The piezoelectric microspeaker includes a piezoelectric layer disposed on an elastic thin layer, and a resonance change unit patterned on one of a bottom surface of the elastic thin layer and a top surface of the piezoelectric layer.
KSP 제안 키워드
Bottom surface, Micro-electro-mechanical system(MEMS), piezoelectric layer, thin layer
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 M E M S 를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS