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상세정보

등록 게르마늄 광 검출기 및 그 형성방법

게르마늄 광 검출기 및 그 형성방법
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발명자
서동우, 김경옥, 김상훈, 주지호
출원번호
12404275 (2009.03.13)
공개번호
20100102412 (2010.04.29)
등록번호
8698271 (2014.04.15)
출원국
미국
협약과제
초록
Provided is a germanium photodetector having a germanium epitaxial layer formed without using a buffer layer and a method of fabricating the same. In the method, an amorphous germanium layer is formed on a substrate. The amorphous germanium layer is heated up to a high temperature to form a crystallized germanium layer. A germanium epitaxial layer is formed on the crystallized germanium layer.
KSP 제안 키워드
Buffer layer, Epitaxial layer, Germanium photodetector, High Temperature, amorphous germanium