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상세정보

등록 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법

멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법
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발명자
이재우, 김종대, 박강호
출원번호
12509411 (2009.07.24)
공개번호
20100158281 (2010.06.24)
등록번호
8175300 (2012.05.08)
출원국
미국
협약과제
초록
Provided are a micro-electromechanical systems (MEMS) microphone and a method of manufacturing the same. A manufacturing process is simplified compared to a conventional art using both upper and lower substrate processes. Since defects which may occur during manufacturing are reduced due to the simplified manufacturing process, the manufacturing throughput is improved, and since durability of the MEMS microphone is improved, system stability against the external environment is improved.
KSP 제안 키워드
Electro-mechanical system, External environment, MEMS Microphone, Manufacturing processes, Micro-electro-mechanical system(MEMS), System stability
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS
등록 표면 미세기계가공으로 구현되며 후방 음향 챔버 벤팅 홀을 구비한 멤스 마이크로폰 및 그의 제조 방법 미국