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등록 다수의 구멍을 가진 마이크로히터와 이를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서

다수의 구멍을 가진 마이크로히터와 이를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서
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발명자
문승언, 이재우, 이형근, 최낙진, 김종대, 양우석
출원번호
13345772 (2012.01.09)
공개번호
20120198918 (2012.08.09)
등록번호
8683847 (2014.04.01)
출원국
미국
협약과제
초록
Disclosed are an MEMS type semiconductor gas sensor using a microheater having many holes and a method for manufacturing the same. The MEMS type semiconductor gas sensor includes: a substrate of which a central region is etched with a predetermined thickness; a second membrane formed at an upper portion of the central region of the substrate and having many holes; a heat emitting resistor formed on the second membrane and having many holes; a first membrane formed on the second membrane including the heat emitting resistor and having many holes; a sensing electrode formed on the first membrane and having many holes; and a sensing material formed on the sensing electrode.
KSP 제안 키워드
Central region, Micro-electro-mechanical system(MEMS), Semiconductor gas sensor, Sensing electrodes, Sensing material, gas sensors
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS