상세정보
등록 표면 미세기계가공으로 구현되며 후방 음향 챔버 벤팅 홀을 구비한 멤스 마이크로폰 및 그의 제조 방법
- 출원번호
- 13434622 (2012.03.29)
- 공개번호
- 20120187077 (2012.07.26)
- 등록번호
- 8715514 (2014.05.06)
- 출원국
- 미국
- 협약과제
- 초록
- Provided are a micro-electromechanical systems (MEMS) microphone and a method of manufacturing the same. A manufacturing process is simplified compared to a conventional art using both upper and lower substrate processes. Since defects which may occur during manufacturing are reduced due to the simplified manufacturing process, the manufacturing throughput is improved, and since durability of the MEMS microphone is improved, system stability against the external environment is improved.
- KSP 제안 키워드
- Electro-mechanical system, External environment, MEMS Microphone, Manufacturing processes, Micro-electro-mechanical system(MEMS), System stability
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법 | 대한민국 | KIPRIS |
| 등록 | 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법 | 미국 |