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상세정보

등록 저소모전력 특성의 MEMS형 전기화학식 가스 센서

발명자
문승언, 이형근, 최낙진, 이재우, 양우석, 김종대
출원번호
13620546 (2012.09.14)
공개번호
20130075255 (2013.03.28)
등록번호
9494543 (2016.11.15)
출원국
미국
협약과제
초록
Disclosed is an electrochemical gas sensor using micro electro mechanical systems (MEMS). The MEMS electrochemical gas sensor includes: a substrate a lower central region of which is etched by a predetermined thickness; a first insulation film formed on the substrate; a heat emitting resistance body formed on the first insulation film; a second insulation film formed on the heat emitting resistance body; a reference electrode formed in an upper central region of the second insulation film; a solid electrolyte formed on the reference electrode; and a detection electrode formed on the solid electrolyte.
KSP 제안 키워드
Central region, Electro-mechanical, Electrochemical gas sensor, Micro-electro-mechanical system(MEMS), Solid electrolyte, gas sensors, mechanical system, reference electrode
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 MEMS형 전기화학식 가스 센서 대한민국 KIPRIS