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등록 파장가변 광 필터 및 그 제조방법

파장가변 광 필터 및 그 제조방법
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발명자
최창억, 이명래, 전치훈, 김창규, 김윤태
출원번호
10-2002-0078443 (2002.12.10) KIPRIS
공개번호
10-2004-0050586 (2004.06.16)
등록번호
10-0489801-0000 (2005.05.06)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 패브리-패럿 구조의 능동형 파장가변 광 필터에 관한 것이다. 본 발명은, 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 하부 거울과, 상기 하부 거울과 소정 거리 이격되어 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 상부 거울과, 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울을 반도체 기판에 연결하여 지지하기 위한 연결 수단 및 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울 사이의 간극을 정전력으로 제어하기 위한 전극패드를 포함하는 파장가변 광 필터 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 실리콘막 및 산화막의 다층 구조로 이루어진 상부 및 하부 거울을 정전력에 의하여 미소하게 구동함으로써 입사광에 대한 투과광 파장을 선택적으로 송출할 수가 있다.
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 실리콘/실리콘산화막 다층구조 적층형 파장가변 광 필터 제작 미국