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등록 반도체 광소자의 제작 방법

반도체 광소자의 제작 방법
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발명자
송현우, 박상희, 김종희, 주영구, 한원석, 권오균
출원번호
10-2003-0085359 (2003.11.28) KIPRIS
공개번호
10-2005-0051743 (2005.06.02)
등록번호
10-0527108-0000 (2005.11.01)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 반도체 반사경 또는 광학 필터로 이용될 수 있는 반도체 광소자의 제작 방법에 대해 개시한다. 에칭비가 서로 다른 두가지 이상의 반도체층들을 교대로 적층한 후 적어도 한 종류의 반도체층들을 선택적으로 에칭하여 에어갭(air gap)을 형성하고, 에어갭이 매립되도록 열전달 특성이 양호한 산화물 혹은 질화물을 증착한다. 에어갭에 매립된 산화물 혹은 질화물과 반도체층의 큰 굴절률 차이로 인하여 적은 주기로도 효과적으로 높은 반사율을 갖는 반도체 반사경 또는 광학 필터를 구현할 수 있다.
KSP 제안 키워드
Air-gap
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