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등록 바이오 칩을 위한 플라스틱 구조체, 그를 이용한 미소가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로어레이

바이오 칩을 위한 플라스틱 구조체, 그를 이용한 미소가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로어레이
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발명자
이대식, 김윤태, 양해식, 김규원, 박세호, 김성진, 임용택, 정광효
출원번호
10-2003-0097066 (2003.12.26) KIPRIS
공개번호
10-2005-0065903 (2005.06.30)
등록번호
10-0535817-0000 (2005.12.05)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 바이오 칩에 적용이 가능한 플라스틱 미세 구조체, 그를 이용한 미소 가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로 어레이에 관한 것이다. 포토 리소그래피 공정이 가능한 정도의 표면 편평도를 가지며 일부 혹은 전체에서 열적 고립이 가능하고 열적 질량이 적은 얇은 두께의 절연성 플라스틱으로 가열영역을 제공하기 위한 플라스틱 구조체를 제작한다. 플라스틱 구조체의 가열영역 위에 가열수단, 온도 감지를 위한 온도센서, 전극 및 전극패드를 형성하여 미소 가열기를 구성한다. 본 발명에 따르면 저비용으로 용이하게 소자를 제작할 수 있고, 가열영역이 플라스틱 박막으로 형성됨으로써 저전력으로도 균일한 온도 제어가 가능해지며, 여러가지 시료들을 빠르게 열처리하여 반응 및 분석할 수 있다.
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등록 바이오 칩을 위한 플라스틱 구조체, 그를 이용한 미소가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로 어레이 미국