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등록 적외선 레이저 레이다의 영상 신호를 검출하기 위한 광 검출기 및 그 제조방법

적외선 레이저 레이다의 영상 신호를 검출하기 위한 광 검출기 및 그 제조방법
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발명자
남은수, 홍선의, 오명숙, 김용원, 김보우, 김호영
출원번호
10-2005-0121973 (2005.12.12)
등록번호
10-0670828-0000 (2007.01.11)
출원국
대한민국
협약과제
초록
전극간을 연결하는 금속 배선을 평탄화된 표면에 배치하여 배열을 단순화시킬 수 있는 광 검출기 및 그 제조 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 광 검출기는 화합물 반도체 기판 상에 형성된 다층의 화합물 반도체 층을 포함한다. 상기 화합물 반도체층의 선택된 영역에 일정 규칙을 가지고 다수의 p-n 접합 다이오드가 배열되어 있으며, 상기 다수의 p-n 접합 다이오드를 개별적으로 분리하도록 상기 다층의 화합물 반도체 층 내에 불순물 이온이 주입되어 소자 분리 영역이 형성된다. 상기 소자 분리 영역과 상기 화합물 반도체층의 표면은 동일 평면에 위치된다. 상기 소자 분리 영역은 Fe 불순물 영역임이 바람직하다.
KSP 제안 키워드
Petri net(PN)