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등록 편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학 현미경 시스템

편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학 현미경 시스템
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발명자
김은경, 문승언, 박강호, 이홍열, 박종혁, 김종대, 김규태, 장도영, 박응석, 지현진
출원번호
10-2007-0061460 (2007.06.22) KIPRIS
공개번호
10-2008-0052252 (2008.06.11)
등록번호
10-0848033-0000 (2008.07.17)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 나노선을 포함하는 전자 소자를 제작함에 있어, 기존의 광학 현미경 시스템을 이용할 수 있도록 회전 편광판과 고속푸리에변환을 사용하여 나노선 감지용 광학 현미경 시스템을 고안한 것에 관한 것이다. 본 광학 현미경 시스템은 광원을 생성하여 상기 생성된 광원을 나노선 소자용 시료에 제공하는 광원부; 상기 광원부에서 제공된 상기 광원의 경로 상에 마련되며 상기 나노선의 광학적 이방성을 이용하여 상기 나노선 소자용 시료에 입사되는 광원의 편광 방향을 변조시키는 회전 편광판; 상기 회전 편광판에서 편광되어 상기 나노선 소자용 시료에 입사된 광원을 이용하여 상기 나노선 영상을 검출하는 광학 현미경; 상기 광학 현미경의 일 영역에 마련되어 상기 광학 현미경에서 검출된 상기 나노선 영상을 촬영하여 저장하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라를 통해 저장된 상기 나노선 영상을 고속 푸리에 변환 처리하는 데이터 처리부를 포함한다. 이에 따라, 나노선의 광학적 이방성으로 인하여 나노선에 입사하는 빛의 편광 방향에 따라 반사광의 세기가 변화한다. 일정한 주기로 회전하는 편광판을 통과한 광원을 나노선에 입사한 후 반사광 이미지를 일정 시간 간격으로 얻은 후 영상을 각 픽셀별로 고속푸리에변환 처리함으로 나노미터 선폭을 갖는 나노선의 영상을 뚜렷하게 얻을 수 있다.
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 편광판과 고속푸리에변환을 이용한 나노선 소자용 고분해능 광학 현미경 시스템 일본