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상세정보

등록 부양형 나노선 센서 및 그 제조 방법

부양형 나노선 센서 및 그 제조 방법
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발명자
김용신, 김윤태, 박덕근
출원번호
10-2007-0083836 (2007.08.21) KIPRIS
공개번호
10-2008-0052297 (2008.06.11)
등록번호
10-0923165-0000 (2009.10.15)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 나노선(nanowire)을 활용하여 우수한 감지특성을 갖고, 대량생산이 가능한 부양형(suspended) 나노선 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명의 부양형 나노선 센서는 기판 상부에 형성되며 상호 물리적으로 분리된 제1감지전극 및 제2감지전극, 상기 제1감지전극으로부터 상기 제2감지전극으로 연장되어 형성되고, 상기 제1감지전극과 상기 제2감지전극 사이에서 물리적으로 부양되어 형성된 나노선 감지소재를 포함하고 있으며, 상술한 본 발명에 따르면, 우수한 감지특성을 갖는 부양형 나노선 센서를 대량생산할 수 있는 효과가 있다. 화학센서(chemical sensor), 광센서(light detector), 나노선(nanowire), 부양형 구조(suspended structure)
KSP 제안 키워드
Suspended structure, chemical sensor, light detector