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상세정보

등록 볼로미터 및 그 제조 방법

볼로미터 및 그 제조 방법
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발명자
양우석, 류호준, 유병곤, 전상훈, 최창억, 조성목
출원번호
10-2007-0122577 (2007.11.29) KIPRIS
공개번호
10-2009-0055766 (2009.06.03)
등록번호
10-0925214-0000 (2009.10.29)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 잡음 감소 및 온도 감지에 대한 정밀도가 향상된 볼로미터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 결정화도가 높은 단결정 실리콘(Si) 또는 실리콘 게르마늄(Si1-xGex, x=0.2~0.5)으로 저항층을 형성함으로써, 종래의 비정질 실리콘 볼로미터에 비하여 1/f 잡음을 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 적외선 센서의 온도 감지에 대한 정밀도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.