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등록 M E M S 를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법

M E M S 를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법
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발명자
이상균, 이재우, 김혜진, 이성규, 박강호, 김종대
출원번호
10-2007-0126788 (2007.12.07) KIPRIS
공개번호
10-2009-0059756 (2009.06.11)
등록번호
10-0931575-0000 (2009.12.04)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커는 기판; 상기 기판 상에 형성된 탄성 박막; 상기 탄성 박막 상에 형성된 압전체층; 상기 압전체층의 상부 또는 상, 하부에 형성된 전극층; 및 상기 기판의 하부가 식각되어 노출된 상기 탄성 박막의 하부에 형성되어 공진 주파수를 변경시키는 공진 변경부를 포함한다. 그럼으로써, 제작이 용이하며, 마이크로스피커의 출력 음압의 갑작스러운 변동을 줄이고, 출력 음압의 음량을 높이고, 공진 주파수에 의한 잡음이 최소화되는 마이크로 스피커를 제공할 수 있는 이점이 있다.
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등록 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법 미국