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상세정보

등록 진동 측정을 위한 미소센서

진동 측정을 위한 미소센서
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발명자
이명래, 정성혜, 이성식, 황건, 최창억, 제창한
출원번호
10-2007-0127880 (2007.12.10) KIPRIS
공개번호
10-2009-0060897 (2009.06.15)
등록번호
10-0934217-0000 (2009.12.18)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본원발명은 진동 측정을 위한 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기장 내에서 도체가 이동하는 경우에 유도전류가 발생하는 원리를 이용한다. 더욱 상세하게는 진동에 의한 힘에 의해 이동하는 질량체에 탄성을 가진 도체를 연결하고, 이 도체가 자기장 내에서 이동하여 발생하는 유도기전력을 이용하여 진동을 측정하는 실리콘 미세가공기술(Micromachining technology)에 기반한 진동 측정용 미소 센서에 관한 것이다.
KSP 제안 키워드
micromachining technology