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상세정보

등록 유기물/무기물 복합 박막 증착 방법 및 증착 장치

발명자
안성덕, 강승열, 오지영, 김철암, 김기현, 서경수, 백규하, 유인규
출원번호
07316176 (1995.12.05)
공개번호
09156476 (1997.06.17)
등록번호
5036516 (2012.07.13)
출원국
일본
협약과제
KSP 제안 키워드
Deposition method, Thin film deposition, film deposition, thin film(TF)
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 유기물/무기물 복합 박막 증착 방법 및 증착 장치 미국