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등록 장파장 표면 방출 레이저 소자 및 그 제조 방법

장파장 표면 방출 레이저 소자 및 그 제조 방법
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발명자
박미란, 권오균
출원번호
10-2008-0105481 (2008.10.27) KIPRIS
공개번호
10-2008-0098574 (2008.11.11)
등록번호
10-0918400-0000 (2009.09.15)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명의 표면 방출 레이저 소자에 따르면, 장파장 빛을 표면 방출하는 하부 거울층, 광 이득을 제공하는 활성층, 자유 캐리어(free carrier) 흡수 손실을 줄이기 위한 터널 접합층 및 상부 거울층이 화합물 반도체 기판 상에 순차적으로 적층되고, 상기 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층 중 적어도 어느 하나의 측면에 식각에 의하여 구경부가 형성되고,상기 구경부가 형성되는 층보다 더 큰 열 전도성을 갖는 열 방출층이 상기 구경부에 채워지는 것이 특징이다.
KSP 제안 키워드
Free carriers
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등록 장파장 표면방출 레이저 구조및 제조 방법 미국