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등록 정전용량형 산화물 환경유해가스 센서 및 그 제조방법

정전용량형 산화물 환경유해가스 센서 및 그 제조방법
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발명자
문제현, 이수재, 박진아, 정태형
출원번호
10-2009-0025688 (2009.03.26) KIPRIS
공개번호
10-2010-0063608 (2010.06.11)
등록번호
10-1201896-0000 (2012.11.09)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 정전용량형 환경유해가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정전용량형 환경유해가스 센서는 절연기판; 상기 절연기판의 동일 평면 상에 일체형으로 형성된 금속전극 및 마이크로박막 히터 가열선; 및 상기 금속 전극 및 마이크로박막 히터 가열선 상에 코팅된 산화물 감지층을 포함하며, 이것은 금속층을 증착한 후, 금속전극과 마이크로박막 히터 가열선이 서로 인터디지털 트랜스듀서를 이루도록 금속층을 식각하고, 이어서 산화물 감지층을 형성하는 것으로 제조된다. 이와 같은 정전용량형 환경유해가스 센서는 제조시 공정수월성을 확보할 수 있으며, 고감도, 고선택성, 고안정성 및 저전력의 우수한 특성을 가질 수 있다.
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