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상세정보

등록 미세 액체 금속 액적의 형상 변화를 이=용한 RF MEMS 스위치

미세 액체 금속 액적의 형상 변화를 이=용한 RF MEMS 스위치
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발명자
김준원, 손성호, 엄순영, 백승범, 박우성
출원번호
10-2009-0109304 (2009.11.12) KIPRIS
공개번호
10-2011-0052317 (2011.05.18)
등록번호
10-1051732-0000 (2011.07.19)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명의 일 실시예는 작동이 빠르고, 충격과 움직임에 강한 미세 액체 금속 액적을 이용한 RF MEMS 스위치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 액체 금속 액적을 이용한 RF MEMS 스위치는, 신호 전달선을 구비하는 제1 레이어 부재, 상기 제1 레이어 부재 상에 배치되어, 상기 신호 전달선에 대응하여 미세 액체 금속 액적의 형상 변화를 유도하도록 챔버를 형성하고 상기 챔버에서 형상 변화되는 상기 미세 액체 금속 액적을 상기 신호 전달선에 접촉/비접촉시키도록 상기 챔버의 일측에 관통구를 형성하는 제2 레이어 부재, 상기 제2 레이어 부재 상에 배치되어, 상기 챔버의 개방 측을 통하여 상기 미세 액체 금속 액적에 형상 변화력을 제공하도록 상기 챔버의 개방 측에 구비되는 작동부재, 및 상기 작동부재의 위치를 설정하고, 상기 제1 레이어 부재 및 상기 제2 레이어 부재에 결합되는 제3 레이어 부재를 포함한다.
KSP 제안 키워드
rf MEMS