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등록 브러쉬 형태의 플라즈마 표면 처리 장치

브러쉬 형태의 플라즈마 표면 처리 장치
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발명자
유한영, 김약연, 오순영, 윤용주, 김창희, 김병훈, 홍원기
출원번호
10-2010-0064712 (2010.07.06) KIPRIS
공개번호
10-2011-0065279 (2011.06.15)
등록번호
10-1352139-0000 (2014.01.08)
출원국
대한민국
초록
본 발명은 브러쉬 형태의 플라즈마 표면 처리 장치에 관한 것으로, 본 장치는 플라즈마 발생 유닛용 프레임; 상기 프레임 하단에 어레이 배열된 다수의 플라즈마 발생 유닛; 상기 프레임 상단의 일측에 설치된 다수의 플라즈마 발생 유닛에 가스를 공급하기 위한 가스 공급구; 및 상기 프레임 상단의 타측에 설치된 다수의 플라즈마 발생 유닛에 전원을 공급하기 위한 전원 공급부를 포함하며, 이 장치에 의해 처리 표면을 지속적으로 청결하게 유지할 수 있을 뿐만 아니라 친수성 또는 소수성으로 개질시킬 수 있다.