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상세정보

등록 실리콘 나노선 기반의 열전소자 및 그 제조 방법

실리콘 나노선 기반의 열전소자 및 그 제조 방법
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발명자
박영삼, 장문규, 현영훈, 전명심, 정태형
출원번호
10-2010-0139451 (2010.12.30) KIPRIS
공개번호
10-2012-0077487 (2012.07.10)
등록번호
10-1864211-0000 (2018.05.29)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 실리콘 나노선 기반의 열전소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기판; 상기 기판 상부에 형성되어, 열을 흡수하는 실리콘 열흡수부, 열을 전달하는 실리콘 나노선 레그, 열을 방출하는 실리콘 열방출부; 및 상기 실리콘 열흡수부, 상기 실리콘 나노선 레그, 상기 실리콘 열방출부를 포함하는 기판 상부에 형성되고, 적어도 하나 이상의 홀을 포함하는 절연막을 포함한다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method, Silicon nanowires(SiNWs), Thermoelectric device