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등록 향상된 축방향 콘트라스트를 가지는 광학 간섭 단층 영상 장치 및 이를 위한 다중면을 구비한 기준 반사경

향상된 축방향 콘트라스트를 가지는 광학 간섭 단층 영상 장치 및 이를 위한 다중면을 구비한 기준 반사경
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발명자
송현우, 오명숙, 정문연, 김승환
출원번호
10-2011-0023278 (2011.03.16) KIPRIS
공개번호
10-2012-0036727 (2012.04.18)
등록번호
10-1407062-0000 (2014.06.05)
출원국
대한민국
협약과제
초록
향상된 축방향 콘트라스트를 가지는 광학 간섭 단층 영상 장치 및 이를 위한 다중면을 구비한 기준 반사경이 개시된다. 광학 간섭단층 영상 장치에 있어서, 기준 반사경은 적어도 2개 이상의 반사면을 가진 다층 구조의 반사경으로서, 각 반사면에서 반사된 광이 서로 반파장 혹은 그 홀수 배의 위상 차이를 가지도록, 제 1 반사면 및 제 1 반사면과 광원 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수 배의 광 경로 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비하여 구성된다. 이러한 다중 반사면을 가진 기준 반사경을 이용할 경우에는 광원의 대역폭을 증가시키지 않으므로 광학 부품의 큰 광대역 성능을 요구하지도 않고, 각 간섭 팔에서의 경로에 대한 분산 보상도 요구하지 않는 장점이 있다. 따라서, 이러한 기준 반사경을 이용한 광학 간섭단층 영상 장치는 깊이 방향 콘트라스트가 현저히 향상된 단층 영상을 통해서 각종 정밀 후막 기술이 필요한 제약 산업, 반도체 산업, 플라스틱 소자 산업, 투명 소자 산업, 의료 기기 산업 등에 응용될 수 있다.