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상세정보

등록 MEMS형 전기화학식 가스 센서

MEMS형 전기화학식 가스 센서
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발명자
문승언, 이형근, 최낙진, 이재우, 양우석, 김종대
출원번호
10-2011-0098298 (2011.09.28) KIPRIS
공개번호
10-2013-0034337 (2013.04.05)
등록번호
10-1773954-0000 (2017.08.28)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 MEMS형 전기화학식 가스 센서에 관한 것으로서, 하부 중앙 영역이 일정 두께만큼 식각되어 있는 기판; 상기 기판 상부에 형성되는 제1 절연막; 상기 제1 절연막 상부에 형성되는 발열 저항체; 상기 발열 저항체 상부에 형성되는 제2 절연막; 상기 제2 절연막 상부 중앙 영역에 형성되는 기준 전극; 상기 기준 전극 상부에 형성되는 고체 전해질; 및 상기 고체 전해질 상부에 형성되는 감지 전극을 포함한다.
KSP 제안 키워드
Electro-mechanical, Electrochemical gas sensor, Micro-electro-mechanical system(MEMS), gas sensors, mechanical system
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 저소모전력 특성의 MEMS형 전기화학식 가스 센서 미국