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상세정보

등록 전계 방출 엑스선원 및 이를 이용한 전자 빔 집속 방법

전계 방출 엑스선원 및 이를 이용한 전자 빔 집속 방법
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발명자
최성열, 송윤호, 강준태, 정진우, 김재우
출원번호
10-2012-0064759 (2012.06.18) KIPRIS
공개번호
10-2013-0141790 (2013.12.27)
등록번호
10-1868009-0000 (2018.06.08)
출원국
대한민국
협약과제
초록
전계 방출 엑스선원이 제공된다. 이 엑스선원은 진공 용기의 일 단부에 구비되되, 전계 방출 에미터를 포함하는 캐소드 전극, 캐소드 전극에 인접하도록 진공 용기의 내부에 구비되되, 제 1 개구를 갖는 게이트 전극, 게이트 전극과 전기적으로 연결되면서, 캐소드 전극으로부터 게이트 전극보다 먼 상기 게이트 전극의 일 면 상에 구비되되, 제 1 개구보다 넓은 폭을 갖는 제 2 개구를 갖는 집속 전극, 및 진공 용기가 연장되는 방향의 타 단부 측의 진공 용기의 내부에 구비되는 애노드 전극을 포함한다. 집속 전극의 높이는 제 2 개구의 폭과 동일하고, 그리고 제 1 개구의 폭은 제 2 개구의 폭의 1/3 이하이다.
KSP 제안 키워드
Electron Beam, field emission, x-ray, x-ray tube
패밀리
 
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등록 전계 방출 엑스선원 및 이를 이용한 전자 빔 집속 방법 미국