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등록 잡음 필터를 사용한 MEMS 마이크로폰

잡음 필터를 사용한 MEMS 마이크로폰
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발명자
김이경, 권종기, 노태문, 조민형, 김종대, 양우석
출원번호
10-2012-0103347 (2012.09.18) KIPRIS
공개번호
10-2014-0036790 (2014.03.26)
등록번호
10-1871811-0000 (2018.06.21)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명의 실시 예에 따른 MEMS 마이크로폰은 기준 전압 및 기준 전류를 생성하는 기준 전압/전류 생성부; 기준 전압을 수신하고, 수신된 기준 전압의 직류 잡음을 제거하는 제 1 잡음 필터; 직류 잡음이 제거된 기준 전압을 수신하여 센서 바이어스 전압을 생성하는 전압 부스터; 센서 바이어스 전압을 수신하여, 음압의 변화를 기반으로 출력 값을 생성하는 마이크로폰 센서; 기준 전류를 수신하여 바이어스 전압을 생성하는 바이어스 회로; 및 바이어스 전압 및 마이크로폰의 출력 값을 수신하고, 출력 값을 증폭하여 출력하는 신호 증폭부를 포함하고, 제 1 잡음 필터는 임피던스 회로; 임피던스 회로와 병렬로 연결된 캐패시터 회로; 및 임피던스 회로의 양단을 연결하는 스위치를 포함한다.
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