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등록 신축성 박막트랜지스터의 제조방법

신축성 박막트랜지스터의 제조방법
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발명자
구재본, 박찬우, 정순원, 추혜용, 오지영, 나복순, 임상철
출원번호
10-2012-0127615 (2012.11.12) KIPRIS
공개번호
10-2014-0060822 (2014.05.21)
등록번호
10-2043703-0000 (2019.11.06)
출원국
대한민국
협약과제
초록
본 발명은 신축성 박막트랜지스터의 제조방법을 개시한다. 그의 제조방법은, 몰드 기판을 형성하는 단계와, 상기 몰드 기판 상에 신축성 절연체를 형성하는 단계와, 상기 신축성 절연체 상에 평판 기판을 형성하는 단계와, 상기 몰드 기판을 제거하는 단계와, 상기 신축성 절연체 상에 불연속적이고 주름진 배선들을 형성하는 단계와, 상기 배선들 사이에 연결되는 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 평판 기판을 제거하는 단계를 포함한다.