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등록 진동 소자 및 그 제조 방법

진동 소자 및 그 제조 방법
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발명자
백인복, 유한영, 김약연, 안창근, 윤용선, 임지은, 이봉국, 장원익, 김용준
출원번호
10-2014-0097114 (2014.07.30) KIPRIS
공개번호
10-2015-0026805 (2015.03.11)
등록번호
10-2269048-0000 (2021.06.18)
출원국
대한민국
초록
진동 영역의 양 끝을 감싸는 형상으로 형성된 지지부를 포함하는 진동 소자 및 그 제조 방법이 개시된다. 진동 소자는 상부에 절연층이 형성된 하부 기판; 상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 및 상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method
패밀리
 
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등록 진동 소자 및 그 제조 방법 독일
등록 진동 소자 및 그 제조 방법 미국