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등록 진동 소자 및 그 제조 방법

진동 소자 및 그 제조 방법
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발명자
백인복, 유한영, 김약연, 안창근, 윤용선, 임지은, 이봉국, 장원익, 김용준
출원번호
14475487 (2014.09.02)
공개번호
20150061455 (2015.03.05)
등록번호
9650238 (2017.05.16)
출원국
미국
초록
A vibration device including a supporting portion formed to cover both ends of a vibration region, and a method of manufacturing the vibration device are provided. The vibration device may include a lower substrate on which an insulating layer is formed, an upper substrate connected onto the insulating layer, and including a vibration region that vibrates and that is separated from the lower substrate by at least a predetermined distance, and a supporting portion formed to cover both ends of the vibration region, to support the vibration region.
KSP 제안 키워드
insulating layer
패밀리
 
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등록 진동 소자 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS
등록 진동 소자 및 그 제조 방법 독일