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등록 광정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침구조 및 그 제작방법

광정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침구조 및 그 제작방법
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발명자
송기봉, 이성규, 박강호, 김은경, 김준호
출원번호
10327884 (2002.12.26)
공개번호
20050252882 (2005.11.17)
등록번호
6979406 (2005.12.27)
출원국
미국
협약과제
01MB4800, 분자스위칭을 이용한 다중 캔티레버형 고밀도 나노 광디스크 기술, 박강호
초록
Disclosed are a cantilever-type near-field probe capable of easily improving an optical throughput and being applied to a head of an optical data storage and a method of manufacturing the same. An oxide film is formed on a silicon substrate having dielectric films formed as a mask layer on upper and lower portions thereof, and a circular dielectric film formed on the upper mask layer and providing a function of a holder. A distal end of the probe has a parabolic structure by use of an effect of a bird's peak provided due to a difference of growth rate of the oxide film produced by the dielectric film, thereby forming the initial probe. After the dielectric film is removed from the initial probe, a bottom surface of the silicon substrate is removed, thereby providing the probe with the near-field aperture having a high throughput.
KSP 제안 키워드
Bottom surface, Dielectric films, Growth rate, High throughput(HTP), Mask layer, Optical data storage, Oxide film, Silicon substrate, data storage, field probe, near-field, near-field probe, optical data
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 광 정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침 구조 및 그 제작 방법 대한민국 KIPRIS