상세정보
등록 반도체 광소자의 제작 방법
- 출원번호
- 10-2003-0085359 (2003.11.28) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2005-0051743 (2005.06.02)
- 등록번호
- 10-0527108-0000 (2005.11.01)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 03MB3600, 광엑세스용 광집적 모듈, 오광룡
- 초록
- 본 발명은 반도체 반사경 또는 광학 필터로 이용될 수 있는 반도체 광소자의 제작 방법에 대해 개시한다. 에칭비가 서로 다른 두가지 이상의 반도체층들을 교대로 적층한 후 적어도 한 종류의 반도체층들을 선택적으로 에칭하여 에어갭(air gap)을 형성하고, 에어갭이 매립되도록 열전달 특성이 양호한 산화물 혹은 질화물을 증착한다. 에어갭에 매립된 산화물 혹은 질화물과 반도체층의 큰 굴절률 차이로 인하여 적은 주기로도 효과적으로 높은 반사율을 갖는 반도체 반사경 또는 광학 필터를 구현할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Air-gap
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 반도체 광소자의 제작 방법 | 미국 |