상세정보
등록 유기 발광 소자의 보호막 형성 방법
- 출원번호
- 10-2003-0059269 (2003.08.26) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2005-0021152 (2005.03.07)
- 등록번호
- 10-0569607-0000 (2006.04.04)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 03MB3800, 차세대 디스플레이 기술 개발, 장순호
- 초록
- 본 발명은 유기 발광 소자 상에 화학기상증착, 스퍼터링, 이온빔 증착법 또는 전자빔 증착법을 이용하여 무기물 버퍼층을 증착하는 단계, 무기물 버퍼층 상에 원자층 증착법으로 20 내지 100℃ 미만의 온도에서 무기 절연막을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 유기 발광 소자의 보호막 형성 방법을 제공한다. 상술한 구성을 통하여, 원자층 증착법을 이용하여 저온에서 박막을 성장시 사용가능한 전구체로부터 유기발광소자가 손상받는 것을 피할 수 있어 소자의 수명을 향상시킬 수 있고, 공정 시간도 단축하여 대량 생산에 적용가능하게 된다.