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등록 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및 그의 제조 방법

자기유지 중앙지지대를 갖는  미세 전자기계적 스위치 및 그의 제조 방법
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발명자
이재우, 강성원, 김윤태
출원번호
10-2003-0097045 (2003.12.26) KIPRIS
공개번호
10-2005-0065885 (2005.06.30)
등록번호
10-0554468-0000 (2006.02.16)
출원국
대한민국
협약과제
03MB3500, e-Health 구현을 위한 바이오 정보통신 기술, 김윤태
초록
본 발명은 전자 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용하는 정전기력으로 구동되는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치에 관한 것으로, 자기유지 중앙지지대를 삽입시켜 제조 공정과 동작과정에서 발생하는 이동판의 변형을 억제하고 상부전극의 접지선 접촉현상을 개선시킬 수 있으므로 신뢰성을 향상시킬 수 있게 되고, 종래 기술의 미세전자기계적 스위치에 비해 삽입손실은 기존 특성을 유지하면서 신호분리 특성을 크게 향상시킬 수 있게 된다. 미세전자기계적시스템(MEMS), 미세전자기계적 스위치(Micro-electromechanical switch), 지지대(anchor)
KSP 제안 키워드
Microelectromechanical switch, electromechanical switch
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치 및 그의 제조방법 미국
등록 자기유지 중앙지지대 미세전자기계적 스위치 및 그의 제조 방법 미국