상세정보
등록 유기물 소자의 보호막 형성 방법
- 출원번호
- 10-2005-0012453 (2005.02.15) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2006-0041963 (2006.05.12)
- 등록번호
- 10-0670804-0000 (2007.01.11)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 03MB3800, 차세대 디스플레이 기술 개발, 장순호
- 초록
- 본 발명은 습기 및 산소와 접촉하여 빠른 속도로 열화되는 특성을 가진 유기 발광다이오드, 유기물 트랜지스터 등의 유기물 소자에 보호막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 종래에는 기판이나 유기물 소자의 보호막을 형성하는 공정에서 높은 공정 온도나 플라즈마에 의해 열에 약한 기판이 변형되거나 유기물 소자가 열화/파괴되는 문제가 있다. 본 발명에서는 짧은 펄스형 플라즈마를 이용한 박막 증착법으로 무기 박막을 형성하여 보호막을 형성한다. 플라즈마를 이용하므로 유기물이 변성되지 않을 정도의 매우 낮은 온도에서 박막 증착을 수행할 수 있으며, 펄스형 플라즈마를 이용하므로 플라즈마에 의한 열화를 최소화시킬 수 있다.