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Registered 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 이를 적용한 우기 박막 트랜지스터

유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 이를 적용한 우기 박막 트랜지스터
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Inventors
In-Kyu You, Suh Kyung Soo, Kang Seung Youl, Chul Am Kim, Seongdeok Ahn, Gi Heon Kim, Baek Kyu-Ha
Application No.
10-2004-0103698 (2004.12.09) KIPRIS
Publication No.
10-2006-0064995 (2006.06.14)
Registration No.
10-0668291-0000 (2007.01.08)
Country
KOREA
Project Code
04MB2400, Flexible Play, Kang Kwang-Yong
Abstract
본 발명은 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 미세 패턴화된 유기물 전도체막을 적용시킨 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기물 전도체의 미세 패터닝 방법은 노광조건을 제어하고, 리프트 오프 방법을 적용하여 유기물의 특성에 영향을 주지 않으면서 미세 패터닝이 가능한 방법을 제공하는 것이다.