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등록 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 이를 적용한 우기 박막 트랜지스터

유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 이를 적용한 우기 박막 트랜지스터
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발명자
유인규, 서경수, 강승열, 김철암, 안성덕, 김기현, 백규하
출원번호
10-2004-0103698 (2004.12.09) KIPRIS
공개번호
10-2006-0064995 (2006.06.14)
등록번호
10-0668291-0000 (2007.01.08)
출원국
대한민국
협약과제
04MB2400, Flexible 디스플레이 (차세대 디스플레이 기술 개발), 강광용
초록
본 발명은 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 미세 패턴화된 유기물 전도체막을 적용시킨 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기물 전도체의 미세 패터닝 방법은 노광조건을 제어하고, 리프트 오프 방법을 적용하여 유기물의 특성에 영향을 주지 않으면서 미세 패터닝이 가능한 방법을 제공하는 것이다.