등록
발광 소자용 실리콘 질화막, 이를 이용한 발광 소자 및 발광 소자용 실리콘 질화막의 제조방법
- 발명자
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김태엽, 김경현, 박래만, 성건용
- 출원번호
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10-2004-0089475 (2004.11.04)
KIPRIS
- 공개번호
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10-2006-0040223 (2006.05.10)
- 등록번호
- 10-0698014-0000 (2007.03.15)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명의 발광소자용 실리콘 질화막은 실리콘 질화물 기저체와 그 내부에 동시에 형성된 실리콘 나노 결정구조들을 포함한다. 이 실리콘 질화막을 이용하면, 발광효율이 우수하고, 청색 및 보라색과 같은 단파장 영역을 비롯한 가시광선 영역뿐만 아니라 근적외선 영역에서의 발광도 가능한 발광소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
- 패밀리
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