ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

특허 검색
구분 출원국
출원년도 ~ 키워드

상세정보

등록 발광 소자용 실리콘 질화막, 이를 이용한 발광 소자 및 발광 소자용 실리콘 질화막의 제조방법

발광 소자용 실리콘 질화막, 이를 이용한 발광 소자 및 발광 소자용 실리콘 질화막의 제조방법
이미지 확대
발명자
김태엽, 김경현, 박래만, 성건용
출원번호
10-2004-0089475 (2004.11.04) KIPRIS
공개번호
10-2006-0040223 (2006.05.10)
등록번호
10-0698014-0000 (2007.03.15)
출원국
대한민국
초록
본 발명의 발광소자용 실리콘 질화막은 실리콘 질화물 기저체와 그 내부에 동시에 형성된 실리콘 나노 결정구조들을 포함한다. 이 실리콘 질화막을 이용하면, 발광효율이 우수하고, 청색 및 보라색과 같은 단파장 영역을 비롯한 가시광선 영역뿐만 아니라 근적외선 영역에서의 발광도 가능한 발광소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자 미국
등록 실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자 일본