상세정보
등록 발광 소자용 실리콘 질화막, 이를 이용한 발광 소자 및 발광 소자용 실리콘 질화막의 제조방법
- 출원번호
- 10-2004-0089475 (2004.11.04) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2006-0040223 (2006.05.10)
- 등록번호
- 10-0698014-0000 (2007.03.15)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명의 발광소자용 실리콘 질화막은 실리콘 질화물 기저체와 그 내부에 동시에 형성된 실리콘 나노 결정구조들을 포함한다. 이 실리콘 질화막을 이용하면, 발광효율이 우수하고, 청색 및 보라색과 같은 단파장 영역을 비롯한 가시광선 영역뿐만 아니라 근적외선 영역에서의 발광도 가능한 발광소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자 | 미국 | |
| 등록 | 실리콘 나노결정 구조를 포함하는 실리콘 질화물 박막 및 이를 이용한 발광소자 | 일본 |