등록
유기물/무기물 복합 박막 증착 방법 및 증착 장치
- 발명자
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안성덕, 강승열, 오지영, 김철암, 김기현, 서경수, 백규하, 유인규
- 출원번호
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07316176 (1995.12.05)
- 공개번호
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09156476 (1997.06.17)
- 등록번호
- 5036516 (2012.07.13)
- 출원국
- 일본
- 협약과제
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06MB2300, Flexible 디스플레이,
조경익
- KSP 제안 키워드
- Deposition method, Thin film deposition, film deposition, thin film(TF)
- 패밀리
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