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Detail
Registered 마이크로 가스 센서 및 그 제조방법
- Application No.
- 10-2006-0123686 (2006.12.07)
- Registration No.
- 10-0812996-0000 (2008.03.06)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 06MB3200, Ubiquitous Health Monitoring Module and System Development, Park Seon Hee
- Abstract
- 본 발명은, 전력 소모가 작고, 가스 감응막의 가열 및 냉각 속도가 빠르며, 또한 온도 균일성을 가지고, 외부로부터 가해지는 기계적인 충격과 열충격을 견딜 수 있도록 내구성을 갖는 마이크로 가스 센서 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은 기판 내에 형성된 진공 공동과, 상기 진공 공동을 덮도록 형성된 지지막과, 상기 지지막과 상기 진공 공동 사이를 밀봉하는 밀봉막과, 상기 밀봉막 상부에 형성된 마이크로 히터와, 상기 마이크로 히터와 절연되어 상기 마이크로 히터 상부에 형성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극을 덮도록 형성된 가스 감응막을 포함하는 마이크로 가스 센서를 제공한다.
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | MICRO GAS SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME | UNITED STATES |