상세정보
등록 보론이 도핑된 산화물 반도체 박막을 적용한 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법
- 출원번호
- 10-2008-0129691 (2008.12.18) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2010-0070937 (2010.06.28)
- 등록번호
- 10-1343570-0000 (2013.12.13)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 08MB2100, 투명전자 소자를 이용한 스마트 창, 조경익
- 초록
- 본 발명은 보론이 도핑된 산화물 반도체 박막이 적용된 박막 트랜지스터 및 박막 트랜지스터의 제조방법에 관한 것이고, 본 발명에 따른 보론이 도핑된 산화물 반도체 박막을 채널층으로 적용한 박막 트랜지스터는 전기적 특성을 획기적으로 향상시킬 수 있으며, 고온에서의 안정성을 크게 증가시킨다.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 보론이 도핑된 산화물 반도체 박막을 적용한 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법 | 미국 |