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상세정보

등록 단일 기판 집적 회로 장치 및 그 제조 방법

단일 기판 집적 회로 장치 및 그 제조 방법
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발명자
이종민, 민병규, 김성일, 김해천, 윤형섭
출원번호
10-2009-0121660 (2009.12.09) KIPRIS
공개번호
10-2011-0064889 (2011.06.15)
등록번호
10-1275724-0000 (2013.06.11)
출원국
대한민국
협약과제
09MB4500, 무선통신 /xAN을 위한 개방형 Power Amplifier 플랫폼 기술, 윤형섭
초록
단일 기판 집적 회로 장치 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 방법은 기판 상에 이종 접합 바이폴라 트랜지스터를 형성하고, 제 1 금속으로 이종 접합 바이폴라 트랜지스터의 배선을 형성하고 이종 접합 바이폴라 트랜지스터로부터 이격된 기판 상에 커패시터의 하부 전극을 형성하고, 기판 상에 이종 접합 바이폴라 트랜지스터 및 하부 전극을 덮는 제 1 절연막을 형성하고, 제 2 금속으로 제 1 절연막 상에 커패시터의 상부 전극을 형성하고 커패시터로부터 이격된 기판 상에 저항 패턴을 형성한다. 상부 전극의 가장자리는 하부 전극의 가장자리로부터 이격된다.