상세정보
등록 열전 소자 및 그 형성방법, 이를 이용한 온도 감지 센서 및 열원 이미지 센서
- 출원번호
- 10-2010-0088107 (2010.09.08) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2011-0095109 (2011.08.24)
- 등록번호
- 10-1352362-0000 (2014.01.08)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 09ZH1300, ETRI 연구역량 강화를 위한 R&D체계 구축 및 Seed형 기술개발을 위한 창의형 연구 사업, 현창희
- 초록
- 열전 소자 및 그 형성방법, 이를 이용한 온도 감지 센서 및 열원 이미지 센서가 제공된다. 열전 소자는 기판 상의 서로 이격되어 배치된 제 1 나노 와이어 및 제 2 나노 와이어, 제 1 나노 와이어의 일단에 연결되는 제 1 실리콘 박막, 제 2 나노 와이어의 일단에 연결되는 제 2 실리콘 박막 및 제 1 나노 와이어의 타단 및 제 2 나노 와이어의 타단에 연결되는 제 3 실리콘 박막을 포함하되, 제 1 나노 와이어 및 제 2 나노 와이어는 기판의 상부면에 대하여 수평한 방향으로 연장된다.