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Registered Thermoelectric Device Based on Silicon Nanowires and Manufacturing Method Thereof
- Inventors
- Park Young Sam, Jang Moon Gyu, Jun Myungsim, Hyun Younghoon, Taehyoung Zyung
- Application No.
- 10-2010-0139451 (2010.12.30) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2012-0077487 (2012.07.10)
- Registration No.
- 10-1864211-0000 (2018.05.29)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 10ZE1100, A Creative Research on ETRI R&DB System and Seed Project for enhancing ETRI Capability, Hyun Tchang Hee
- Abstract
- 본 발명은 실리콘 나노선 기반의 열전소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기판; 상기 기판 상부에 형성되어, 열을 흡수하는 실리콘 열흡수부, 열을 전달하는 실리콘 나노선 레그, 열을 방출하는 실리콘 열방출부; 및 상기 실리콘 열흡수부, 상기 실리콘 나노선 레그, 상기 실리콘 열방출부를 포함하는 기판 상부에 형성되고, 적어도 하나 이상의 홀을 포함하는 절연막을 포함한다.
- KSP Keywords
- Manufacturing method, Silicon nanowires(SiNWs), Thermoelectric device